無油分子泵機組的設計計劃
正常分子泵機組的設計是單氣路,如圖4所示。作業內中是:①啟動前級電泵P2使真空室內氣體通過聯接管路—分子泵—聯接管路—電泵,而后排到大氣。②當分子泵前級達成分子泵啟動壓強時啟動分子泵,真空室內氣體同樣通過聯接管路—分子泵—聯接管路—電泵,而后排到大氣。在前中①中,分子泵沒有啟動,僅起到一個管路的作用,但因為分子泵存在多層渦輪型葉片的簡單構造,增大了電泵的流阻,同聲也就注定增多了抽氣工夫。而關于前級是有油旋片泵的分子泵機組,分子泵的這種構造起到擋油作用,大大縮小了電泵的返油。有油分子泵機組上的分子泵須要定計蕩滌就是所以某個起因。
圖4 單氣路聯接分子泵機組示用意
關于本套機組而言,那末采納正常氣路設計計劃,在干泵粗抽時,氣體要先通過兩個構造簡單、流阻大的分子泵能力排到大氣,關于較大的零碎采納這種計劃抽氣工夫較長,是不行取的。咱們充足利用干泵不會對真空零碎造成油凈化的長處,又利用1By6型干泵的大抽速性能,對原有氣路增多了一套旁路(見圖5),作業內中是:①開啟閥門V1、V2,啟動干泵P3,開啟低真空計G2,抽除真空室及兩個分子泵中的氣體;②當低真空計G2的批示達成100Pa時,開放閥門V2,啟動牽引分子泵P2,開啟真空計G1;③待達成ATP100的啟動壓強后,開啟渦輪分子泵P1。
圖5 帶旁路分子泵機組氣路示用意
泵間配總計算
白文以N2為例繼續劃算,通過圖5中帶旁路設計的作業內中①②,依據圖2(P2的抽速曲線),可劃算最大排器量為Q=300Pa·L/s,又依據P2的最大出氣口壓力務求,可劃算出P2需前級泵的抽速S干>0.075L/s;由干泵抽速曲線圖3①可知,干泵不僅能滿足務求而且有很大的剩余。開啟冷規,當冷規激起并作業畸形后,此時真空度進入0.1Pa便啟動渦輪分子泵P1,再依據P1的抽速曲線劃算出最大排器量為Q=9Pa·L/s,再由P1最大出氣口壓力務求劃算出牽引分子泵抽速S牽分>0.9L/s。從牽引分子泵抽氣曲線能夠得悉牽引分子泵抽速滿足務求但剩余不大。
聯接管路、儀器支架的設計及取舍
依據泵間配合的劃算串聯合BEPC的理論狀況設計了聯接管路及儀器支架,其特點重要體現在以次兩個上面。
①兩個分子泵及其電源、高真空計及規管裝置在一個儀器推車上,干泵裝置在另一個儀器車上,兩車就位后用漣漪管(兩端快卸卡箍)聯接。那樣就防止了干泵運行時的強烈震撼莫須有分子泵及真空計作業。另外由劃算知,干泵作牽引分子泵前級抽速剩余較大,漣漪管上的抽速破財不會對機組運行造成太大莫須有。
②充足利用兩分子泵體積小、分量輕、裝置位置靈敏的長處,使渦輪分子泵正向垂直裝置,牽引分子泵反向垂直裝置。那樣就能夠升高機組的高低且儀器推車的打造也絕對容易。因為牽引分子泵作渦輪分子泵的前級抽速剩余不大,因而兩泵之間用適當尺寸的三通聯接(其中一通為檢漏儀預留),那樣能夠縮小管路上的抽速破財。
下結論：
經過正當的設計聯接,最大限度地施展了各泵的長處,使聯接后的機組失去很好的運用。另外,因為干泵耐可凝性氣體的威力較差,在運用中要留神蕩滌原來運用過有油電泵的被抽室。當干泵抽過定然單位曾裸露過濕度較高的大氣的被抽室,干泵的極限真空就會上升。當這種狀況產生時,咱們經過試驗下結論出一個教訓,克服了泵室中的潮氣子含量較高的問題,普及了泵的極限真空。因而,那末有條件的話,毀壞真空時最好對被抽室充干澀氮氣。那末高真空泵為冷凝泵就會大大縮小這種狀況。
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